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电子级六氟化硫 SF6
电子级六氟化硫（SF6）
电子级六氟化硫（SF6）
一、产品介绍
六氟化硫在常态下是一种无色、无味、无毒、不燃、无腐蚀性的惰性气体，化学稳定性强，具良好
的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业和电子工业。
| 中文名：六氟化硫 | 分子式：SF6 |
| 英文名：sulfur hexafluoride | 相对分子量：146.05 |
| CAS No：2551-62-4 | 危险性类别：*2.2类不燃气体 |
| UN No：1080 | 溶解性：微溶于水、乙 醇、乙 醚 |
| 熔点：-63.7℃ | 沸点：-50.8℃ |
| 临界温度：45.6℃ | 液体相对密度（水=1）：1.67 |
| 临界压力:3.76 MPa | 相对密度（气体，空气=1）：5.11 |
二、技术指标
| 检验项目 | 指标 |
| 六氟化硫（v/v）% ≥ | 99.999 |
| 氮 ppmv ≤ | 3.0 |
| 氧 氩 ppmv ≤ | 3.0 |
| 一氧化碳 ppmv ≤ | 0.5 |
| 二氧化碳 ppmv ≤ | 0.5 |
| 四氟化碳 ppmv ≤ | 0.5 |
| 甲烷 ppmv ≤ | 0.2 |
| 水 ppmv ≤ | 2.0 |
| 总酸度（以HF计）ppmv ≤ | 0.3 |
三、包装规格(钢瓶、Y瓶)
| 容积（升） | 8 | 47 | 470 |
| 充装量（公斤） | 10 | 50 | 500 |
| 阀门型号 | QF-2 | CGA590 | DISS716 可根据客户要求提供其它规格的包装。 |
四、六氟化硫的应用
用作六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
用作镁铝合金压铸的保护气体
用作制冷剂，致冷范围可在-45℃～0℃之间
用作光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
用作大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
用作肝脏**的超声造影检查的造影剂
电子级六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域
五、注意事项
六氟化硫产品为不燃性液化气体，应储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库房温度不宜**
过50℃；应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。操作人员必
须经过专门培训，严格遵守操作规程。密闭操作，局部排风。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面
罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
配备泄漏应急处理设备。瓶装气体产品为高压液化气体，使用时应经减压降压后方可使用。每瓶气体在
使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.3MPa，较小不得低于0.2MPa余压，将瓶阀关闭，以保证气体质量
和使用安全。勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁明火烘烤气瓶，严禁野蛮装卸。钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时
间，不符合要求的钢瓶应委托菲利尔特种气体等供应商到有资质的压力容器检验单位进行检验。严禁使
用过期钢瓶。
(来源：易传播)
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